Компилятор GDSII в формат фотонаборной установки ЭМ-559, ЭМ-5009
Данный комплекс программ компилирует топологии из формата GDS в формат ЭМ-5009 с последующей сортировкой экспозиций. Поддерживаются следующие стекла: 102х102, 127х127, 153х153.
Данный комплекс программ компилирует топологии из формата GDS в формат ЭМ-5009 с последующей сортировкой экспозиций. Поддерживаются следующие стекла: 102х102, 127х127, 153х153.



